第36章 反了他了还！

总工程师当然不认为康硕真的能够解决问题，而且实验室是非常机密的地方，就算是他也没有权利随便就带进去参观。地址 获取

这些规矩康硕当然也清楚，他本来也没指望自己一句话就能让总工程师深信不疑，毕竟还没打过道。

不过，康硕有的是办法，他接着说道：“光刻工艺过程中，自动传输装置将晶圆送入光刻机，首先的作就是掩模与晶圆的预对准。

“随后视像自动对准系统启动，通过工业相机从光刻机的显微镜相机接获取含有掩模和晶圆对准标记的图像，然后计算机图像处理算法会分别获取掩模和晶圆的对准标记中心坐标。

“跟着这个标记就可以计算出掩模和晶圆对准标记中心坐标差，确控制光刻机掩模台的移动，经过反复图像分析和调节，最终完成掩模和晶圆自动对准。”

“我猜，你们的数据就是在这个时候开始走向偏离的，你们每次获取的坐标都各不一样，对准系统工作也有一些紊，对吗？”

康硕笑的十分自信，总工程师那表简直就像是大白天见了鬼：“你……你怎么知道？”

康硕没有回答他的这个问题，而是接着把光刻机视像自动对准系统所有的流程全部给他分析了一遍，包括其中最可能出现的问题。

这个流程可是复杂的很，从晶圆自动载入开始：

晶圆自动载入→预对准→采集图像→搜索对准标记→计算坐标差→控制掩膜平台移动对准→反复重复上述过程的粗调调→自动曝光→晶圆移出。

到晶圆移出结束。

这整个过程所有可能出现问题的环节，康硕那是一一剖析，听得总工程师目瞪呆：

这完全不符合常理啊，这年轻真是西州大学大三的学生？确定不是阿斯麦的资深工程师？这也太离谱了吧？

“你是怎么知道这些的？”虽然不该问，但总工程师还是没忍住，如此问道。

“也没什么难的啊，知网里论文一大堆，流程都能查到啊！”

康硕理所当然的说道：“这些流程在脑子里多过几遍，哪儿有问题那不是一目了然的吗？”

“看论文……一目了然……”

总工程师突然觉得自己这几十年白活了：论文他也看啊，他不但看，他还写呢，他写的论文知网里就有不少！

流程就更不用说了，不管是在实验室还是在产线上，光刻流程他一遍一遍跟